Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber (Vergabestelle)

I.1) Namen und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Postanschrift: Abbestraße 2-12
Postleitzahl: 10587
Ort: Berlin
NUTS: Berlin (DE300)
Land: Deutschland (DE)
Telefon: +49 30-34817453
Fax: +49 30-34817244
E-Mail: petra.hauser@ptb.de
Hauptadresse: www.ptb.de

I.3) Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=263881

Weitere Auskünfte erteilen/erteilt:
die oben genannten Kontaktstellen.

Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen:
elektronisch via:
www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=263881

I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers
Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde einschließlich regionaler oder lokaler Unterabteilungen

I.5) Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Wissenschaft und Forschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1) Umfang der Beschaffung

II.1.1) Bezeichnung des Auftrags Bezeichnung:

Maskenloser Direktbelichter

Referenznummer der Bekanntmachung:
Z.1531ha-1019061701 II.1.2)

CPV-Code Hauptteil:
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (38000000)

II.1.3) Art des Auftrags
Lieferauftrag

II.1.4) Kurze Beschreibung
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter.

II.1.6) Angaben zu den Losen
keine Aufteilung des Auftrags in Lose

II.2) Beschreibung

II.2.3) Erfüllungsort

NUTS-Code:
Berlin (DE300)

II.2.4) Beschreibung der Beschaffung
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Maskenloser Direktbelichter. Komplettsystem für die strukturgebende Belichtung von Fotolacken mittels Laserlithografie bestehend aus:

  • Lasersystem für die Belichtung von Fotolacken mit der Möglichkeit der Variation der Laserintensität, was eine dreidimensionale Strukturierung des Fotolackes ermöglichen muss (Grautonlithografie), bestehend aus

    1. Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der i-Linie von Quecksilber

    2. Laser mit einer Wellenlänge im Bereich der h-Linie von Quecksilber

  • Interferometertisch mit Vakuumchuck zur Substrathalterung
  • Auflichtkamera für die Erfassung von Justiermarken, d.h. von bereits auf dem Substrat vorhandener Strukturen zur exakten Ausrichtung der relativen Position von Tisch und Laser
  • Autofokus-System
  • PC mit MS Windows 10 für Datenkonvertierung und Systemsteuerung
  • CAD Software (Designsoftware) geeignet für die Erstellung und Bearbeitung von Entwürfen (Designs) für integrierte Schaltungen
  • Klimakammer mit Temperaturstabilisierung und laminarem Luftstrom sowie Schwingungsdämpfung zur Vibrationsminimierung

II.2.5) Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt.

II.2.7) Laufzeit des Vertrags oder der Rahmenvereinbarung
Laufzeit in Monaten:
6

II.2.10) Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind nicht zulässig.

II.2.11) Angaben zu Optionen
Optionen: nein

II.2.13) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird:
nein

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1) Teilnahmebedingungen

III.1.3) Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen
Referenzen über früher ausgeführte Lieferaufträge, die mit dem Auftragsgegenstand vergleichbar sind (s. Erklärung technische und berufliche Leistungsfähigkeit).

Beleg des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen gem. § 48 VgV (s. Erklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen)

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1) Beschreibung

IV.1.1) Verfahrensart
Offenes Verfahren

IV.1.8) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen:
ja

IV.2) Verwaltungsangaben

IV.2.2) Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag:
23.07.2019

Ortszeit:
10:00

IV.2.4) Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können
Deutsch (DE)

IV.2.6) Bindefrist des Angebots
Das Angebot muss gültig bleiben bis:
23.09.2019

IV.2.7) Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Tag:
24.07.2019

Ortszeit:
09:00

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1) Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist kein wiederkehrender Auftrag.

VI.2) Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
Aufträge werden elektronisch erteilt
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert

VI.3) Zusätzliche Angaben
Die Rechnungsstellung kann elektronisch (PDF) an die Rechnungssammelstelle der PTB Berlin (RechnungssammelstelleBerlin@ptb.de) erfolgen.

VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren

VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes - Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Str. 76
Postleitzahl: 53126
Ort: Bonn
Land: Deutschland (DE)

VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung
17.06.2019